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非晶钛酸锶钡薄膜的金属有机分解法制备及其光学性能
引用本文:彭静,徐智谋,王双保,董泽华. 非晶钛酸锶钡薄膜的金属有机分解法制备及其光学性能[J]. 物理学报, 2011, 60(5): 57702-057702
作者姓名:彭静  徐智谋  王双保  董泽华
作者单位:(1)华中科技大学化学与化工学院,武汉 430074; (2)武汉光电国家实验室,武汉 430074;华中科技大学光电子科学与工程学院,武汉 430074; (3)武汉科技大学理学院,武汉 430081
基金项目:国家自然科学基金(批准号:60607006),教育部留学回国基金(批准号:20081667),湖北省自然科学基金(批准号:2007ABA058)资助的课题.
摘    要:本文采用2-辛酸钡(Ba(C8H15O2)2)和3-甲基丁基醋酸盐(CH3COOC2H4CH(CH3)2-)为基的特殊前驱体溶液,在硅和石英基片上低温制备Ba0.7Sr0.3TiO3 (BST0.7)薄膜.性能测试结果表明,厚度约为214 nm的非晶BST0.7薄膜的光学带隙能和折射率分别为4.27 eV和n=1.94.薄膜在可见光和近红外区域的消光系数远远低于多晶BST薄膜,约为10-3数量级.激发波长为450 nm时,在室温环境下非晶BST0.7薄膜在波长520—610 nm处发出强烈的可见光,峰值为540—570 nm,而结晶态的BST0.7薄膜则无发光现象.关键词:钛酸锶钡非晶薄膜金属有机分解法光学性能

关 键 词:钛酸锶钡  非晶薄膜  金属有机分解法  光学性能
收稿时间:2010-01-04

Metal organic decomposition technique and optical properties of amorphous Ba0.7 Sr0.3 TiO3 thin films
Peng Jing,Xu Zhi-Mou,Wang Shang-Bao,Dong Ze-Hua. Metal organic decomposition technique and optical properties of amorphous Ba0.7 Sr0.3 TiO3 thin films[J]. Acta Physica Sinica, 2011, 60(5): 57702-057702
Authors:Peng Jing  Xu Zhi-Mou  Wang Shang-Bao  Dong Ze-Hua
Affiliation:College of Sciences, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan 430081, China;Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Wuhan 430074, China;Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Wuhan 430074, China;School of Chemistry and Chemical Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
Abstract:With the development of Si-based optical integrated circuit,much attention has been paid to the crystalline and amorphous(BaxSr1-x) TiO3(BST) films due to its good optical properties.In this study,the amorphous Ba0.7 Sr0.3 TiO3(BST0.7) thin films were grown on the fused quartz and silicon substrates at low temperature by using a metal organic decomposition(MOD)-spin-coating procedure from barium 2-caprylate Ba(C8H15 O2)2 and 3-methylbutyl acetate CH3COOC2H4CH(CH3)2-based special precursors.The optical const...
Keywords:barium strontium titanate  amorphous thin film  metal organic decomposition  optical properties
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