Y2O3-SiO2助剂对常压烧结SiC-AlN复相材料烧结性能的影响 |
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作者姓名: | 陈云 李晓云 王玉春 冯永宝 戴斌 丘泰 孙悦 |
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作者单位: | 南京工业大学,南京,210009;南京三乐电子信息产业集团有限公司,南京,211800 |
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基金项目: | 江苏高校优势学科建设工程项目,长江学者和创新团队发展计划资助项目(PCSIRT |
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摘 要: | SiC∶AlN以质量比1∶1,添加不同质量分数Y2O3-SiO2(摩尔比为2.9∶7.1)复合烧结助剂,分别在氢气和氩气气氛下常压烧结制备SiC-A1N复相材料.研究烧结气氛、烧成温度和Y2O3-SiO2含量对该复相材料烧结性能的影响.结果表明,与氢气气氛相比,氩气气氛下烧结体更易致密;1650 ~1850℃,随着烧结温度升高,烧结致密性明显提高.氩气气氛1850C下保温1h,Y2O3-SiO2复合助剂含量为9.09wt;,烧结体的显气孔率可低于0.15;,晶粒尺寸均匀且连接紧密.烧结过程中,Y2O3、SiO2烧结助剂与AlN表面的Al2O3在一定温度下形成液相有助于样品致密化.Y2O3与AlN表面的Al2O3反应生成钇铝石榴石(Y3Al5O12),SiO2高温下主要形成玻璃相.SiC-AlN复相材料是由主晶相6H-SiC和AlN,次晶相Y3Al5O12组成.
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关 键 词: | 碳化硅-氮化铝 常压烧结 烧结气氛 致密性, |
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