| 退火温度对Zn_(0.93)Fe_(0.07)O薄膜微结构和铁磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 更藏多杰,马书懿,陈万军,张国恒,陈彦.退火温度对Zn_(0.93)Fe_(0.07)O薄膜微结构和铁磁性能的影响[J].人工晶体学报,2016(8). |
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| 作者姓名： | 更藏多杰 马书懿 陈万军 张国恒 陈彦 |
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| 作者单位： | 1. 西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030;2. 西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃省原子分子与功能材料重点实验室,兰州730070 |
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| 基金项目： | 中央高校基金(31920150011) |
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| 摘 要： | 用射频磁控溅射方法在硅片上制备了Zn_(0.93)Fe_(0.07)O薄膜,并在空气中用不同温度进行热处理,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对其微结构、表面和断面形貌进行测试。结果表明,薄膜沿c轴方向择优生长,呈六角纤锌矿结构,空气中450℃退火的样品XRD谱中出现最强的(002)衍射峰,晶粒尺寸变大,薄膜结晶和取向明显变好。用振动样品强磁计对样品铁磁特性进行测试,发现当退火温度的升高时,饱和磁化强度有所增加,并经分析认为这可能是薄膜中晶粒间的晶界缺陷引起的。
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| 关 键 词： | 兹控溅射 Zn0.93Fe0.07O薄膜 退火温度 铁磁性 |
Effects of Annealing Temperature on Microstructure and Ferromagnetism of Zn0.93Fe0.07O Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering Zn0 93Fe0 07O thin film annealing temperature ferromagnetism |
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