| 基于裂纹模板法的金属网格透明导电薄膜制备及性能改进 |
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| 引用本文： | 廖敦微,郑月军,陈强,丁亮,高冕,付云起.基于裂纹模板法的金属网格透明导电薄膜制备及性能改进[J].物理学报,2022(15):120-126. |
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| 作者姓名： | 廖敦微 郑月军 陈强 丁亮 高冕 付云起 |
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| 作者单位： | 国防科技大学电子科学学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61901493,61901492)资助的课题~~； |
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| 摘 要： | 基于裂纹模板法制备了一种高屏蔽性能的金属网格透明导电薄膜.采用现有裂纹模板法制备得到的金属网格透明导电薄膜,其金属网格厚度较薄,屏蔽性能有待改进.本文在研究了裂纹材料的旋涂转速对龟裂图案的影响关系分布曲线中,增加了缝隙深度因子,选取了合适的裂纹材料和旋涂方案,制备得到理想的随机图案分布的裂纹模板.通过磁控溅射法在裂纹模板缝隙内外沉积厚度为1μm的金属层,引入了超声波清洗结合有机溶剂的方法,高效去除裂纹胶模板后,得到了金属网格透明导电薄膜样品.实测的金属网格透明导电薄膜样品透光率超过85%,同时方阻值保持在2.8Ω/左右,具有良好的透光和电磁屏蔽性能.通过制备加厚金属网格透明导电薄膜改进了屏蔽性能,为后续基于裂纹模板法制备高屏蔽性能金属网格透明导电薄膜提供了参考.
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| 关 键 词： | 裂纹模板法 金属网格 高屏蔽 磁控溅射 |
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