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| 平板波导的溶胶-凝胶法制备与测试 | |
| 作者姓名： | 张志林 叶淼 孙伟民 |
| 作者单位： | 哈尔滨工程大学,理学院,哈尔滨150001;哈尔滨工程大学,理学院,哈尔滨150001;哈尔滨工程大学,理学院,哈尔滨150001 |
| 基金项目： | 黑龙江省自然科学基金（A0308）;国家973项目 |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法制作了平板波导.实验中,在不同的条件下采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备出TiO2平板波导,分析了影响平板波导的因素,如溶胶-凝胶溶液的浓度、pH值,滴胶速度,热处理等.并对在不同工艺条件下的波导膜特性进行了测试,分析了影响波导膜质量的各个因素.实验表明,在控制实验条件的前提下溶胶-凝胶法在制作平板波导膜的工艺上制作方法简单,容易实现. |
| 关 键 词： | 平板波导 制作 溶胶-凝胶 |
| 收稿时间： | 2007-11-22 |
| 修稿时间： | 2008-03-17 |
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