| 利用脉冲激光沉积法制备高Mg掺杂的六方相MgZnO薄膜 |
| |
| 作者姓名： | 朱德亮 陈吉星 曹培江 贾芳 柳文军 马晓翠 吕有明 |
| |
| 作者单位： | 1.深圳大学材料学院 深圳市特种功能材料重点实验室, 广东 深圳 518060 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,广东省自然科学基金,深圳市产学研科技合作,深圳市科技计划,深圳市南山区科技研发资金 |
| |
| 摘 要： | 选用Mg0.2Zn0.8O陶瓷靶,利用脉冲激光沉积(PLD)法,在单晶Si(100)和石英衬底上生长了一系列MgZnO薄膜(MZO)。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDS)和紫外可见光透射光谱(UV-Vis)等实验手段,研究了在不同工作压强下生长的薄膜样品的晶体结构、微观形貌和光学性能的变化。结果表明:所有的薄膜样品都是单一的ZnO六方相,禁带宽度随生长压强的升高而增加,变化范围在3.83~4.05eV之间,最短吸收边接近300nm。
|
| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 MgZnO薄膜 光学性能 |
| 收稿时间： | 2009-09-25 |
| 修稿时间： | 2010-01-24 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《发光学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《发光学报》下载全文 |
|
