| 类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性 |
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| 引用本文： | 张兰,马会中,李会军,杨仕娥,姚宁,胡欢陵,张兵临. 类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性[J]. 物理学报, 2004, 53(3) |
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| 作者姓名： | 张兰 马会中 李会军 杨仕娥 姚宁 胡欢陵 张兵临 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 利用微波等离子体增强化学气相沉积技术制备出了CNx薄膜,并利用x射线光电子能谱、x射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱等测试手段对所制备的CNx薄膜的微结构和成分进行了分析.研究了其场致电子发射特性.发现薄膜的结构和场发射特性与反应系中的甲烷、氮气及氢气的流量比有关,当甲烷、氢气及氮气流量比为8/50/50sccm时,制备的薄膜具有弯曲层状的纳米石墨晶体结构(类富勒烯结构)和很好的场发射特性.场发射阈值电场降低至1.1V/μm.当电场为5.9V/μm时,平均电流密度达70μA/cm2,发射点密度大于1×104cm-2.
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| 关 键 词： | 类富勒烯 CNx薄膜 场致电子发射 微波等离子体增强化学气相沉积 |
Fullerene-like nano-crystalline CNx films and its characteristics of field electron emission |
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