| 周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率 |
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| 引用本文： | 秦俊岭,易葵,邵建达,范正修.周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率[J].光子学报,2006,35(8):1191-1193. |
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| 作者姓名： | 秦俊岭 易葵 邵建达 范正修 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 由于界面互扩散的存在，实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构.假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构，用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.结果证明，折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面，但它同样具有很高的反射率.
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| 关 键 词： | 余弦模型 梯度折射率 多层膜 软X射线反射率 |
| 收稿时间： | 2005-05-10 |
| 修稿时间： | 2005年5月10日 |
Soft X-Ray Reflectivity of Periodic Graded-index Multilayers |
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| Qin Junling,Yi Kui,Shao Jianda,Fan Zhengxiu.Soft X-Ray Reflectivity of Periodic Graded-index Multilayers[J].Acta Photonica Sinica,2006,35(8):1191-1193. |
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| Authors: | Qin Junling Yi Kui Shao Jianda Fan Zhengxiu |
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| Institution: | 1.Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, The Chinese Academy of Science, Shanghai 201800;2. Graduate School of The Chinese Academy of Science, Beijing 100039 |
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| Abstract: | Actual ultra thin multilayers are difficult to have a clear-cut interface due to interface interdiffusion. It is assumed that ultra thin Multilayers have a periodic graded-index multilayer structure.A line model and a cosine model are used to simulate soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers. The simulations show that periodic graded-index multilayers with cosine model have a higher reflectivity. it's significative for design of ultra thin Multilayers. |
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| Keywords: | Cosine model Graded-index Multilayer Soft X-ray reflectivity |
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