多光束在分形粗糙表面散射的仿真 |
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作者姓名: | 徐敬波 蒋庄德 赵玉龙 宋康 |
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作者单位: | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049 |
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基金项目: | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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教育部科学技术研究重点项目 |
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摘 要: | 采用矩量法(MOM),分析了多光束在分形粗糙导体表面的散射分布.对在不同入射角、光束宽度控制因子、光束照射区宽度、表面均方根高度和表面分维数情况下的散射进行了数值仿真.仿真结果表明了各参量的变化对散射分布的影响.根据仿真计算结果给出了最佳的散射测量区域,为减少多光束测量的误差提供了一定的参考.
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关 键 词: | 形貌检测 散射 分形粗糙表面 数值仿真 |
收稿时间: | 2005-08-01 |
修稿时间: | 2005-08-01 |
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