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多光束在分形粗糙表面散射的仿真
作者姓名:徐敬波  蒋庄德  赵玉龙  宋康
作者单位:西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划) , 教育部科学技术研究重点项目
摘    要:采用矩量法(MOM),分析了多光束在分形粗糙导体表面的散射分布.对在不同入射角、光束宽度控制因子、光束照射区宽度、表面均方根高度和表面分维数情况下的散射进行了数值仿真.仿真结果表明了各参量的变化对散射分布的影响.根据仿真计算结果给出了最佳的散射测量区域,为减少多光束测量的误差提供了一定的参考.

关 键 词:形貌检测  散射  分形粗糙表面  数值仿真
收稿时间:2005-08-01
修稿时间:2005-08-01
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