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| 基于悬空电容的机械振子的制备和表征 | |
| 引用本文： | 戴欣,李永超,潘佳政,江俊良,魏兴雨,卢亚鹏,卢盛,涂学凑,孙国柱,吴培亨.基于悬空电容的机械振子的制备和表征[J].低温物理学报,2018(2). |
| 作者姓名： | 戴欣 李永超 潘佳政 江俊良 魏兴雨 卢亚鹏 卢盛 涂学凑 孙国柱 吴培亨 |
| 作者单位： | 南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所 |
| 摘 要： | 微机械振子在信息处理的研究领域有着重要的应用,我们采用超导材料铝制备了悬空电容,该悬空电容的上极板构成了微机械振子.悬空电容和螺旋电感一起构成LC振荡电路.微波通过平面波导传输线耦合进来,在LC电路中形成电磁振荡,同时,激励出薄膜机械振子的机械振动.本文详细介绍了采用稀释的光刻胶作牺牲层来制备悬空结构的方法,并通过测试,研究了悬空电容中的薄膜振动特性,为今后机械振子与微波场、光场甚至量子比特的相互耦合等研究工作提供了重要参考. |
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