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硅基LHP蒸发器传热特性研究
作者姓名:周东方  陈岩  柳洋  秦宁  辛公明
作者单位:1.山东大学能源与动力工程学院,济南 250061;2.山东大学能源与动力工程学院,济南 250061;山东大学深圳研究院,深圳 518063
基金项目:国家自然科学基金 ( No.U20A20300 );深圳市自然基金 ( No.JCYJ20190807092801669 )
摘    要:硅基环路热管作为一种高效两相传热装置可应用于集成电路热管理。本文设计并制备了一种硅基微柱阵列毛细结构以期用作硅基环路热管蒸发器,搭建了毛细蒸发实验系统,探究了热流密度以及工作角度等变化对蒸发器传热性能的影响。研究结果发现:热流密度越高,蒸发器启动速度越快,稳定运行温度越高;蒸发器在工作角度180?时的性能优于0?,在工作角度90?时的性能优于270?。本文关于硅基蒸发器性能研究可为后续相关环路热管的优化设计提供数据支撑。

关 键 词:硅基微柱阵列  环路热管  毛细蒸发  毛细芯  
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