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| 一种微型光开关的设计与仿真分析 | |
| 引用本文： | 李伟,梁静秋,李小奇,钟砚超,梁中翥,孙德贵. 一种微型光开关的设计与仿真分析[J]. 光学学报, 2008, 28(6): 1151-1154 |
| 作者姓名： | 李伟 梁静秋 李小奇 钟砚超 梁中翥 孙德贵 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 中国科学院优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项基金 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析.运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系.当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm,能够满足器件转换光路的要求. |
| 关 键 词： | 微机电系统 光开关 有限元分析 电磁驱动 |
| 收稿时间： | 2007-10-29 |
Design and Simulation Analysis of a Micro Optical Switch |
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| Li Wei,Liang Jingqiu,Li Xiaoqi,Zhong Yanchao,Liang Zhongzhu,Sun Degui. Design and Simulation Analysis of a Micro Optical Switch[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(6): 1151-1154 | |
| Authors: | Li Wei Liang Jingqiu Li Xiaoqi Zhong Yanchao Liang Zhongzhu Sun Degui |
| Abstract: | A new polyimide (PI)-cantilever MEMS optical switch of electromagnetic actuation is proposed, and the structure of the optical switch is designed and simulated. The optimal dimension of the permanet magnet is designed and the structure of the PI-cantilever is optimized by finite element method. The relation of restoring force and electromagnetic force versus the displacement of the cantilever is interpreted. With 75 mA current pulse input,the distance of PI-cantilever equation is about 1.02 mm, which is able to change the propagation direction of the optical beam between through state and reflection state. |
| Keywords: | micro-electro-mechanical system optical switch finite element analysis electromagnetic actuation |
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