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二氧化锡非晶超微粒薄膜制备与薄膜性能的研究
引用本文:王雅静,姜月顺.二氧化锡非晶超微粒薄膜制备与薄膜性能的研究[J].化学研究与应用,1999,11(1):37-40.
作者姓名:王雅静  姜月顺
作者单位:沈阳化工学院精细化工系,吉林大学化学系,沈阳大学师范学院
摘    要:我们用PECVD(等离子激活化学气相沉积)方法制备SnO2薄膜。透射电镜表明400℃以下是非晶状态,扫描电镜测试表明颗粒度为30nm,SnO2薄膜的紫外可见反射吸收光谱中,沉积在石英上的SnO2薄膜出现价带到导带本征吸收带,可计算出非晶SnO2薄膜禁带宽为3.54eV,SnO2薄膜红外光谱研究表明:SnO2非晶薄膜随着加热温度升高,有序化程度升高,在300℃明显出现572cm-1的SnO2骨架振动带。经300℃老化样品只对醇敏感。为制备好的气敏材料提供理论基础。

关 键 词:SnO2薄膜  紫外可见光谱  红外光谱  气敏  催化氧化

PREPARATION OF SnO 2 ULTRA FINE PARTICLES FILM AND STUDY OF ITS CHARACTERIZATION
Wang,Yajing.PREPARATION OF SnO 2 ULTRA FINE PARTICLES FILM AND STUDY OF ITS CHARACTERIZATION[J].Chemical Research and Application,1999,11(1):37-40.
Authors:Wang  Yajing
Institution:Wang Yajing (Shenyang Institute of Chemical Technology 110021) Jiang Yueshun Dai Guorui Li Meimei (Jilin University)
Abstract:
Keywords:SnO  2  film  Ultraviolet  spectroscopy  Infrared  spectroscopy  Gas  sensitivity  Catalytic  oxidation  
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