用光栅的正负一级能量之比测量光栅参数的可行性研究 |
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引用本文: | 袁纵横,张丽娟,李建龙.用光栅的正负一级能量之比测量光栅参数的可行性研究[J].光学技术,2006,32(4):527-529. |
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作者姓名: | 袁纵横 张丽娟 李建龙 |
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作者单位: | 桂林电子工业学院电子工程系 广西桂林541004(袁纵横,张丽娟),四川大学物理科学与技术学院 成都610064(李建龙) |
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摘 要: | 提出了一种利用光栅透射光谱的正负一级能量之比,通过结合正单纯形优化算法反演衍射光栅参数的新方法。在理想光栅(以正弦面型光栅为例)透射光谱曲线上叠加高斯噪声模拟了实验测量曲线;通过结合正单纯形优化算法进行模拟反演得到了光栅的折射率和光栅深度等参数。结果表明,相对误差小于2%,具有无损伤、操作简便、可重复、易推广、成本低等优点。
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关 键 词: | 光学测量 衍射光栅 透射光谱 光栅参数 |
文章编号: | 1002-1582(2006)04-0527-03 |
收稿时间: | 2005/8/15 |
修稿时间: | 2005年8月15日 |
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