| 化学气相输运法制备ZnO晶体 |
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| 引用本文： | 韦志仁,武明晓,郭树青,高平,尹利君,黄存新,张金平,张晓军,董国义.化学气相输运法制备ZnO晶体[J].人工晶体学报,2010,39(5):1261-1264. |
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| 作者姓名： | 韦志仁 武明晓 郭树青 高平 尹利君 黄存新 张金平 张晓军 董国义 |
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| 作者单位： | 河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定,071002;烁光特晶科技有限公司,北京,100018;北京中材人工晶体研究院有限公司,北京,100018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向.以(0002)方向的ZnO籽晶片作基片,制备了ZnO单晶厚膜,晶体呈螺旋状外延生长,正极面的单晶摇摆曲线半高宽为543.6弧秒.
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| 关 键 词： | ZnO晶体 化学气相输运 摇摆曲线 |
Synthesis of ZnO Crystals by Chemical Vapor Transport Process |
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| WEI Zhi-ren,WU Ming-xiao,GUO Shu-qing,GAO Ping,YIN Li-jun,HUANG Cun-xin,ZHANG Jin-ping,ZHANG Xiao-jun,DONG Guo-yi.Synthesis of ZnO Crystals by Chemical Vapor Transport Process[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(5):1261-1264. |
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| Authors: | WEI Zhi-ren WU Ming-xiao GUO Shu-qing GAO Ping YIN Li-jun HUANG Cun-xin ZHANG Jin-ping ZHANG Xiao-jun DONG Guo-yi |
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