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基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统
作者姓名:王韵致  谢芳  陈龙辉  徐海波  李明佳
作者单位:1.北京交通大学 理学院 光电信息科学与工程实验室,北京,100044
摘    要:研究了一种基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统.系统中的光纤激光器包含三个独立的激光谐振腔,每个激光谐振腔都有作为增益介质的掺铒光纤,三个激光谐振腔利用光纤光栅作为反射镜及波长选择元件,光纤激光器能同时发出无模竞争的频率和功率都稳定的三波长激光.利用三波长激光的自混合干涉,以及干涉信号的相位小数重合方法,实现绝对距离测量.为实现绝对距离测量,三个波长中两相邻波长间距应为相等.实验中,两相邻波长间距约为10nm.系统对公称高度为11mm修正值不大于2.7μm的台阶高度进行测量,测量结果为11.000059mm.对13.000090mm绝对距离重复测量20次的标准差为4.4nm.

关 键 词:多波长激光  自混合干涉  台阶测量  掺铒光纤激光器  光学干涉  光纤传感  绝对距离测量
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