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基于铋纳米颗粒的自由沉降法制作X射线吸收光栅
作者姓名:雷耀虎  许桂雯  李乔飞  WALI Faiz  刘鑫  李冀  黄建衡
作者单位:1.深圳大学 物理与光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东,深圳,518060
基金项目:国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;深圳市自然科学基础研究;深圳大学教师启动项目;深圳大学教师启动项目
摘    要:利用深反应离子刻蚀技术或湿法腐蚀在硅上制作光栅结构,将与光栅浸润的液体作为载体携带铋纳米颗粒进入光栅结构内,形成致密排列,从而制作出X射线吸收光栅.致密地填充了周期为42

关 键 词:X射线成像  吸收光栅  自由沉降  铋纳米颗粒  刻蚀  相位衬度
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