| 硅基二氧化硅波导阵列相位控制芯片 |
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| 引用本文： | 颜跃武,安俊明,张家顺,王亮亮,李建光,王红杰,吴远大,尹小杰,王玥.硅基二氧化硅波导阵列相位控制芯片[J].光子学报,2019,48(4):1-8. |
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| 作者姓名： | 颜跃武 安俊明 张家顺 王亮亮 李建光 王红杰 吴远大 尹小杰 王玥 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083;中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;王宽诚率先人才计划产研人才扶持项目 |
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| 摘 要： | 设计并制作了硅基二氧化硅波导阵列相控芯片,该芯片由分束单元、相位调制单元、输出波导阵列三部分构成,分束单元采用三级1×2的光分束器级联而成,相位调制单元采用热光调制方式,输出部分包含8根密集阵列波导.8根波导输出的光在远场发生干涉,形成扫描光束,加电后通过二氧化硅热光效应,折射率变化0.027%(0.000 4)时,扫描光束偏转5.5°.该波导相控阵列采用2.0%超高折射率差的硅基二氧化硅波导为材料,经等离子体增强化学气相沉积法进行材料生长及退火,再经电感耦合等离子体干法刻蚀技术进行刻蚀,最后切割抛光制作而成.测试结果表明,静态下该芯片8条输出阵列波导形成清晰干涉光斑,在电压达到130V时,热调制相位后,光斑移动5.5°.
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| 关 键 词： | 光子器件 光学相控阵 硅基二氧化硅 热光调制 不等间距波导 |
Chip of Phase Control Arrays Based on Silica on Silicon |
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| YAN Yue-wu,AN Jun-ming,ZHANG Jia-shun,WANG.Chip of Phase Control Arrays Based on Silica on Silicon[J].Acta Photonica Sinica,2019,48(4):1-8. |
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| Authors: | YAN Yue-wu AN Jun-ming ZHANG Jia-shun WANG |
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| Institution: | (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy ofSciences,Beijing100083,China;College of Materials Science and Opto-Electronic Technology,University of Chinese Academy ofSciences,Beijing100083,China) |
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| Abstract: | YAN Yue-wu;AN Jun-ming;ZHANG Jia-shun;WANG Liang-liang;LI Jian-guang;WANG Hong-jie;WU Yuan-da(State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy ofSciences,Beijing100083,China;College of Materials Science and Opto-Electronic Technology,University of Chinese Academy ofSciences,Beijing100083,China) |
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| Keywords: | Photonic devices Optical phased array Silica on silicon Thermo-optic modulation Unequal spacing waveguide |
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