声表面驻波局部图案化微操控方法

针对目前声表面驻波微操控方法在微流道的完整宽度上形成驻波图案, 缺乏实现区域化操控的可行性的问题, 量化分析了短脉冲激发的声表面波在声学微操控结构中产生与控制局部微粒图案的方法。通过对单指对叉指换能器机械波形的加式合成, 建立了短脉冲激励下的波形传播解析模型, 结合有限元方法建立立式声表面波微操控器件的全截面仿真模型, 研究对激励信号施加脉冲延迟和频率调制时, 微操控器件的时均基底位移以及微流道内声场分布的变化规律。
为验证理论模型, 制作微操控器件进行实验测试。结果表明, 通过修改激励信号的相对时延和有效脉冲时间, 可以有效地控制声场中生成驻波区域的位置及宽度, 二者均呈线性正相关, 与理论及仿真结果相符。