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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
808 nm大功率半导体激光器阵列的优化设计
作者姓名:
杨晔
刘云
秦莉
王烨
梁雪梅
李再金
胡黎明
史晶晶
王超
王立军
作者单位:
1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 激发态物理重点实验室, 长春 130033;2. 中国科学院 研究生院, 北京 100039
基金项目:
吉林省科技厅重大项目,吉林省科技厅科技攻关项目
摘 要:
采用激射波长为808 nm的GaAs/AlGaAs梯度折射率波导分别限制单量子阱结构外延片,制备了沟道深度不同的半导体激光器阵列,并对载流子分布进行理论分析和模拟。理论和实验结果表明:引入脊形台面和隔离沟道后,激光器阵列的输出功率、电光转换效率、斜率效率和光谱特性均有显著提高。随着沟道的加深,对电流侧向扩散的限制作用增强,从而提高了阵列性能。
关 键 词:
半导体激光器线阵列
隔离沟道
腐蚀深度
电流扩散
电流分布
收稿时间:
1900-01-01;
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