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808 nm大功率半导体激光器阵列的优化设计
作者姓名:杨晔  刘云  秦莉  王烨  梁雪梅  李再金  胡黎明  史晶晶  王超  王立军
作者单位:1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 激发态物理重点实验室, 长春 130033;2. 中国科学院 研究生院, 北京 100039
基金项目:吉林省科技厅重大项目,吉林省科技厅科技攻关项目
摘    要: 采用激射波长为808 nm的GaAs/AlGaAs梯度折射率波导分别限制单量子阱结构外延片,制备了沟道深度不同的半导体激光器阵列,并对载流子分布进行理论分析和模拟。理论和实验结果表明:引入脊形台面和隔离沟道后,激光器阵列的输出功率、电光转换效率、斜率效率和光谱特性均有显著提高。随着沟道的加深,对电流侧向扩散的限制作用增强,从而提高了阵列性能。

关 键 词:半导体激光器线阵列  隔离沟道  腐蚀深度  电流扩散  电流分布
收稿时间:1900-01-01;
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