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Monte Carlo方法计算背散射电子在固体中的空间分布
引用本文:谭震宇,何延才. Monte Carlo方法计算背散射电子在固体中的空间分布[J]. 计算物理, 1995, 12(4): 561-564
作者姓名:谭震宇  何延才
作者单位:1. 山东工业大学电力系, 济南 250014;2. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050
摘    要:应用Monte Carlo方法,对不同能量低能电子作用下背散射电子在固体中的空间分布作了计算,电子的弹性散射用Mott截面描述、非弹性散射按文献[3]的方法由Streitwolf、Quinn及Gryrinski的公式计算,大量计算得出一些规律,为低能电子显微学研究提供一定依据。

关 键 词:Monte Carlo方法  背散射电子  空间分布  
收稿时间:1993-08-30
修稿时间:1994-08-08

SPATIAL DISTRIBUTION OF BACKSCATTERED ELECTRONS IN SOLIDS BY MONTE CARLO SIMULATION
Tan Zhenyu,He Yancai. SPATIAL DISTRIBUTION OF BACKSCATTERED ELECTRONS IN SOLIDS BY MONTE CARLO SIMULATION[J]. Chinese Journal of Computational Physics, 1995, 12(4): 561-564
Authors:Tan Zhenyu  He Yancai
Affiliation:1. Electric Power Dept, Shandong Polytechnic University, Jinan 250014;2. Shanghai Institute of Ceramics, Academia Sinica, Shanghai 200050
Abstract:The spatial distribution of backscattered electron in solids have been calculated by Monte Carlo method, based on Mott cross-section for elastic scattering as well as Streitwolf,Quirm and Gryzinski's cross-section for inelastic scattering. Some regularities have been acquired from a large amount of calculations, providing a certain basis for the quantitative research of low-energy electron microscopy.
Keywords:Monte Carlo method  backscattered electron  spatial distribution  
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