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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
GaAs/AlGaAs量子点阵的制备及其荧光特性
作者姓名:
王杏华 李国华
作者单位:
半导体超晶格国家重点实验室中国科学院半导体研究所, 北京 100083
摘 要:
采用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,将GaAs/AlGaAs量子阱外延材料制成量子点阵,其光荧光谱显示出蓝移,并且蓝移量随着量子点直径尺寸的减少而增大。
关 键 词:
GaAs/AlGaAs
量子点
光荧光
收稿时间:
1998-03-18
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