| VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响 |
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| 引用本文： | 刘世良,李抒智,周圣明,王银珍,彭观良,徐军.VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响[J].人工晶体学报,2005,34(2):250-254. |
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| 作者姓名： | 刘世良 李抒智 周圣明 王银珍 彭观良 徐军 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 中国科学院百人计划项目资助 |
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| 摘 要： | 通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5;的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5;的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.
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| 关 键 词： | γ-LiAlO2/α-Al2O3 复合衬底 气相传输平衡 腐蚀 退火 |
| 文章编号： | 1000-985X(2005)02-0250-05 |
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