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用多光束干涉法测量丝杠精度
引用本文:宋希明,张泰.用多光束干涉法测量丝杠精度[J].应用光学,1985(6).
作者姓名:宋希明  张泰
作者单位:长春光机学院,长春光机学院
摘    要:研磨丝杠是一项技术性很强的工作,除了要正确选择丝杠与研磨的材料、磨具设计、热处理规范,以及确定研磨手法等外,还需要一种简便而可靠的测量装置,以便对研磨中的丝杠随时进行检测,保证整个研磨工作顺利进行。本文介绍的是我们在研磨精密丝杠时采用的方法——多光束干涉法,整个测量装置结构简单,测量精度高,使用起来也很方便。

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