| 清洁、大流量真空差分系统的研制 |
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| 引用本文： | 蒙峻,杨晓天,张素平,储继国. 清洁、大流量真空差分系统的研制[J]. 中国物理 C, 2008, 32(Z1): 59-61 |
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| 作者姓名： | 蒙峻 杨晓天 张素平 储继国 |
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| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所，中国科学院近代物理研究所，中国科学院近代物理研究所，深圳大学 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049，兰州 730000，兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049，深圳 518060 |
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| 摘 要： | 本研究是为了设计一套大流量、清洁的真空差分系统. 计算了超重反冲核实验装置终端真空差分系统各级的真空度; 介绍了差分系统的设计和真空泵、测量设备选择; 选择能在高压强下连续运行的新型分子/增压泵作为过渡流范围内的主排气泵, 对分子增压泵进行了性能测试并对差分系统进行了模拟靶室实验, 最后对实验结果进行了分析.
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| 关 键 词： | 清洁、大流量差分系统 新型分子/增压泵 返油 残余气体分析 |
| 收稿时间： | 2008-01-10 |
Research for a Clean and Large Throughput Differential Pumping System |
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| MENG Jun. Research for a Clean and Large Throughput Differential Pumping System[J]. High Energy Physics and Nuclear Physics, 2008, 32(Z1): 59-61 |
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| Authors: | MENG Jun |
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| Abstract: | The research is to design a differential pumping system not only to achieve the pressure transition with a large throughput,but also to achieve a clean system without back-oil.In the paper,the pressure in differential stages is calculated;the differential pumping system design and equipment choice are introduced;the tests of Molecular/Booster Pump(MBP),a new kind of molecular-drag pump with large throughout and clean vacuum are described and the system experimental result and analysis are presented. |
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| Keywords: | clean and large throughput differential pumping system new kind of Molecular/Booster Pump back-oil residual gas analysis |
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