| N2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟 |
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| 引用本文： | 高书侠,张素,孟秀兰,张连珠.N2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射模拟[J].计算物理,2013,30(3):396-402. |
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| 作者姓名： | 高书侠 张素 孟秀兰 张连珠 |
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| 作者单位： | 河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄,050024 |
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| 摘 要： | 采用Monte Carlo方法模拟N2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射过程,其中,氮离子(N2+,N+)轰击阴极表面采用PIC/MC模型模拟.计算溅射钛原子的热化过程、钛原子的密度及其平均能量分布.结果表明,沿各方向溅射出的90%金属Ti原子所带的初始能量小于30 eV,其散射角主要分布在30°和60°之间;溅射Ti原子在离微空心阴极壁约0.04 mm处出现热化极大值.
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| 关 键 词： | 微空心阴极放电 阴极溅射 氮等离子体 Monte-Carlo模型 |
Numerical simulation of Titanium Cathode Sputtering in Nitrogen Microhollow Cathode Discharge |
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| GAO Shuxia
,
ZHANG Su
,
MENG Xiulan
,
ZHANG Lianzhu.Numerical simulation of Titanium Cathode Sputtering in Nitrogen Microhollow Cathode Discharge[J].Chinese Journal of Computational Physics,2013,30(3):396-402. |
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| Authors: | GAO Shuxia ZHANG Su MENG Xiulan ZHANG Lianzhu |
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| Institution: | (College of Physics Science and Information Engineering,Hebei Normal University,Shijiazhuang 050024,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microhollow cathode discharge sputtering of the cathode nitrogen plasma monte-carlo model |
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