| 模拟空间原子氧辐照下X射线光电子能谱仪的原位表征功能开发 |
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| 引用本文： | 刘建,剡珍,郝俊英,刘维民.模拟空间原子氧辐照下X射线光电子能谱仪的原位表征功能开发[J].分析测试技术与仪器,2023(1):37-42. |
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| 作者姓名： | 刘建 剡珍 郝俊英 刘维民 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院兰州化学物理研究所润滑材料全国重点实验室730000;2.中国科学院大学100049;3.青岛市资源化学与新材料研究中心266000; |
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| 基金项目： | 中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(2023g107)。 |
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| 摘 要： | 对现有的X射线光电子能谱仪进行功能开发,在不改变仪器工作原理、不影响现有功能的前提下,将研制的空间交变温度原子氧辐照装置集成到其快速进样室,重点解决集群结构的匹配和性能兼容问题,实现模拟空间交变温度原子氧辐照环境下材料的原位表征功能.采用Kapton膜的质量损失方法测试空间交变温度原子氧辐照装置的原子氧通量密度,氧气流量、偏压和微波电流均对原子氧通量密度有较大影响.系统测试表明,原子氧辐照使WS 2薄膜表面发生了严重氧化,影响了薄膜的化学组成.不同温度原子氧辐照导致了不可忽略的化学组成与结构的差异.
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| 关 键 词： | X射线光电子能谱仪 原子氧辐照 温度交变 原位表征 WS_(2)薄膜 |
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