| SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制 |
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| 作者姓名： | 高怀林 王乃彦 王东蕾 王永 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院电子学研究所,北京100080 [2]中国原子能科学研究院,北京102413 |
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| 摘 要： | 利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400°C4h高温处理技术, 研制的SR-FEL宽带腔镜光学膜系在355nm中心波长的绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.45%, 反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99.00%)=75nm; 研制的355nm/248nm双带腔镜光学膜系, 在355nm中心波长, 其绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.69%, 反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99.00%)=59nm; 在248nm中心波长, R(248nm)=98.21%, 绝对光学反射率光谱带宽测量值Δλ(R≥99.00)=9mm,
Δλ(R≥98.00%)=33nm.
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| 关 键 词： | 储存环自由电子激光 腔镜光学膜系 电子束蒸发沉积 离子束溅射沉积 |
| 收稿时间： | 2006-08-08 |
| 修稿时间： | 2006-08-08 |
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