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| 气相质子交换LiTaO3光波导及其特性 | |
| 作者姓名： | 邓文渊 李玉善 马少杰 鄂书林 |
| 作者单位： | [1]中国科学院长春光学机密机械与物理研究所激发态物理重点实验室，130022 [2]应用光学国家重点实验室，长春130022 |
| 摘 要： | 本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导，测量了Z-切LiTaO3光波导的参数（交换深度d和表面折射率增量△nc）和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱，给出了光波导层的折射率分布，并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明：非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近，但表面非寻常折射率增量（△nc）更大，其折射率分布更接近于高斯型。 |
| 关 键 词： | 气相质子交换 LiTaO3晶体 光波导 钛酸锂晶体 折射率分布 波导参数 气相压 热退火处理 特性 |
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