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| 微型硅谐振式力传感器的振动分析 | |
| 作者姓名： | 唐新鲁 张培强 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学 合肥230026 |
| 摘 要： | 介绍了谐振式力传感器的工作原理，并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁（３×０．４×０．０４５ｍｍ＾３）式测力传感器进行了全面的振动分析，所得结构为其进一步优化设计提供了科学根据，文中使用的实验分析方法，为其它微小物体的动态和识别提供了一条有效途径。 |
| 关 键 词： | 谐振式 力传感器 振动 分析 |
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