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Characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF_6/O_2 plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon
Authors:
Xu Dong-Sheng;Zou Shuai;Xin Yu;Su Xiao-Dong;Wang Xu-Sheng
Abstract:
dual frequency capacitively coupled plasma, plasma texturing, multi-crystalline silicon, electrondensity
Keywords:
dual frequency capacitively coupled plasma
plasma texturing
multi-crystalline silicon
electron density
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