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| 软X射线多层膜的应用及发展 | |
| 作者姓名： | 吕俊霞 马月英 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,国家863高技术计划 |
| 摘 要： | 文章主要介绍了近十年来软Ｘ射线多层反射发展现状以扩制备过程中的技术难点，介绍了软Ｘ射线多层膜在软Ｘ射线光学中的的些应用。 |
| 关 键 词： | 软X射线 多层膜反射镜 超薄膜 光学元件 薄膜 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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