| 大孔树脂吸附法回收三氯氢硅生产过程中的尾气 |
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| 引用本文： | 宋宝东,庞春霞,宋宜华,张钦良,邢翠花.大孔树脂吸附法回收三氯氢硅生产过程中的尾气[J].离子交换与吸附,2011,27(6). |
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| 作者姓名： | 宋宝东 庞春霞 宋宜华 张钦良 邢翠花 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学化工学院化学工程研究所,天津,300072
2. 淄博宝运化工厂,淄博,255088 |
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| 摘 要： | 三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费。用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景。在Ф10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大孔树脂,进行了吸附和解吸性能研究。结果表明,A1树脂性能最优。最佳吸附工艺条件为:温度20℃,尾气流量5L/h,吸附时间2.8h。解吸过程的最佳工艺条件:温度110℃,氮气流量7.5L/h,时间1.5h。
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| 关 键 词： | 大孔树脂 吸附 三氯氢硅 四氯化硅 尾气 |
RECOVERY OF EXHAUST GAS OF TRICHOROSILANE PRODUCTION BY ADSORPTION USING MACROPOROUS RESINS |
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| SONG Baodong,PANG Chunxia,SONG Yihua,ZHANG Qinliang,XING Cuihua.RECOVERY OF EXHAUST GAS OF TRICHOROSILANE PRODUCTION BY ADSORPTION USING MACROPOROUS RESINS[J].Ion Exchange and Adsorption,2011,27(6). |
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| Authors: | SONG Baodong PANG Chunxia SONG Yihua ZHANG Qinliang XING Cuihua |
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| Institution: | SONG Baodong1 PANG Chunxia1 SONG Yihua2 ZHANG Qinliang2 XING Cuihua2 1.Chemical Engineering Research Center,School of Chemical Engineering & Technology,Tianjin University,Tianjin 300072,China 2.Zibo Baoyun Chemical Plant,Zibo 255088,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Macroporous resin Adsorption Trichlorosilane Silicon tetrachloride Exhaust gas |
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