| 衬底偏置对ITO膜光学性质的影响 |
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| 引用本文： | 张怀武 许武毅. 衬底偏置对ITO膜光学性质的影响[J]. 应用光学, 1992, 13(4): 55-58 |
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| 作者姓名： | 张怀武 许武毅 |
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| 作者单位： | 电子科技大学，陕西机械学院 成都 610054，西安 710043 |
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| 摘 要： | 研究衬底偏置机理。在低温偏压衬底下,用三极反应溅射法镀制出在可见光区透射率为83％的ITO膜。测试低温负偏置衬底法与高温无偏置衬底法镀制ITO膜的光谱特性,发现两者在红外区有相似变化。确定出氧分压范围在(5～7)×10~(-3)Pa。
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| 关 键 词： | 衬底 偏置 薄膜 ITO膜 光学性质 |
THE EFFECTS OF BIASED SUBSTRATE ON THE OPTICAL PROPERET(?)ES OF ITO THIN FILM |
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| Zhang Huaiwu. THE EFFECTS OF BIASED SUBSTRATE ON THE OPTICAL PROPERET(?)ES OF ITO THIN FILM[J]. Journal of Applied Optics, 1992, 13(4): 55-58 |
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| Authors: | Zhang Huaiwu |
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| Keywords: | substrate biasing thin film |
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