强激光装置中玻璃疵病在线检测的光学系统设计 |
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作者姓名: | 董卫斌 张敏 达争尚 陈良益 董晓娜 何俊华 |
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作者单位: | 中国科学院西安光学精密机械研究所,先进光学仪器研究室,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院西安光学精密机械研究所,先进光学仪器研究室,西安,710119 |
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基金项目: | 国家高技术惯性约束领域项目(051Z331BOA)资助 |
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摘 要: | 介绍了一种用于玻璃疵病在线检测的近摄工作距成像光学系统,其光组结构形式采用了光阑后置的准远心结构形式,主要光学参量为f′=14mm;在物像距为250mm约束条件下,物方视场达到90mm(对角线);F/number=3.56;光谱适应范围为400~800nm,对应的空间分辨率为100lp/mm时,调制传递函数大于0.29.
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关 键 词: | 光学测量 玻璃瑕疵检测 光学设计 平场像 |
收稿时间: | 2007-10-25 |
修稿时间: | 2007-12-05 |
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