| 晶体表面畸变的X射线双晶衍射研究 |
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| 引用本文： | 朱南昌,李润身,陈京一,许顺生.晶体表面畸变的X射线双晶衍射研究[J].物理学报,1990,39(5):770-777. |
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| 作者姓名： | 朱南昌 李润身 陈京一 许顺生 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助的课题;中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助的课题 |
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| 摘 要： | 本文介绍了表面畸变的晶体中X射线动力学衍射分层模型的计算原理和通过计算机模拟双晶摇摆曲线获得畸变层信息的方法,讨论了不同的双晶排列方式对摇摆曲线和模拟计算的影响,分析了畸变层内应变、损伤分布与摇摆曲线的关系,并以B+注入Si(100)晶片为例,给出了模拟结果。
关键词：
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| 关 键 词： | 晶体 表面畸变 X射线 双晶 衍射 |
| 收稿时间： | 7/7/1989 12:00:00 AM |
INVESTIGATION OF THE SURFACE DISTORTED CRYSTALS BY DYNAMICAL X-RAY DOUBLE-CRYSTAL DIFFRACTION |
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| ZHU NAN-CHANG,LI RUN-SHEN,CHEN JING-YI and XU SHUN-SHENG.INVESTIGATION OF THE SURFACE DISTORTED CRYSTALS BY DYNAMICAL X-RAY DOUBLE-CRYSTAL DIFFRACTION[J].Acta Physica Sinica,1990,39(5):770-777. |
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| Authors: | ZHU NAN-CHANG LI RUN-SHEN CHEN JING-YI and XU SHUN-SHENG |
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| Abstract: | A lamellar X-ray dynamic diffraction theory of the surface distorted crystals and the simulation method for obtaining information in distorted layers are presented. Influence of different double crystals' arrangement upon rocking curves(RCs) and simulation procedure are, disscussed. The relation between RCs and the depth distributions of strain and damage in distorted crystals is analysed. As an example, the simulation results of the B+ implanted Si(l00) wafers are given. |
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| Keywords: | |
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