| 表面特征与软X射线掠入射光学散射 |
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| 引用本文： | 陈淑妍,尼启良,陈波. 表面特征与软X射线掠入射光学散射[J]. 光谱实验室, 2005, 22(3): 669-672 |
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| 作者姓名： | 陈淑妍 尼启良 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春市,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春市,130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春市,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点支持项目 |
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| 摘 要： | 介绍了短波段掠入射表面散射线性模型,并且根据这个理论,分析计算了不同的表面特征对软X射线掠入射光学散射特性的影响。实验发现:随着粗糙度的增加、自相关长度的减小,软X射线掠入射光学散射越来越严重。
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| 关 键 词： | 表面散射 软X射线 掠射角 自相关长度 |
| 文章编号： | 1004-8138(2005)03-0669-04 |
| 修稿时间： | 2005-05-10 |
Surface Profiles and Soft X-ray Grazing Incidence Optical Scattering |
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| CHEN Shu-yan,NI Qi-liang,CHEN Bo. Surface Profiles and Soft X-ray Grazing Incidence Optical Scattering[J]. Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory, 2005, 22(3): 669-672 |
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| Authors: | CHEN Shu-yan NI Qi-liang CHEN Bo |
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| Abstract: | A linear systems treatment of short-wavelength surface scattering theory are introduced,based on which, feature of soft X-ray grazing incidence optical scattering is investigated when surface profiles is different. It is discovered that the scattering increases as the micro-roughness increases or autocovariance width decreases. |
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| Keywords: | Surface Scattering Soft X-Ray Grazing Angle Autocovariance Width. |
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