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氮化铜薄膜的制备及其物理性能
作者姓名:岳光辉  闫鹏勋
作者单位:兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州,730000;兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州,730000
基金项目:甘肃省自然科学基金重点项目资助 (No.ZS021 A25 022 C)
摘    要:氮化铜薄膜的光学性能及其突出的低温热分解特性,使得它在信息存储方面有广阔的应用前景.本文概述了国际上制备多晶态氮化铜薄膜的研究进展及其物理性能,并对其应用前景进行展望.

关 键 词:氮化铜薄膜  热稳定性  光记录
文章编号:1000-985X(2005)01-0149-06
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