化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展 |
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引用本文: | 赵小玻,韦中华,张旭,钱纁,于浩海.化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展[J].人工晶体学报,2023(12):2125-2134. |
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作者姓名: | 赵小玻 韦中华 张旭 钱纁 于浩海 |
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作者单位: | 1. 山东大学晶体材料研究院;2. 中材人工晶体研究院有限公司;3. 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
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摘 要: | 化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料。大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题。本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述了高性能红外材料必备的光学性能,综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展,以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究。旨在改进生产工艺参数,为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考,以满足其在军事领域上的应用。
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关 键 词: | ZnS ZnSe 化学气相沉积 透过率 吸收系数 缺陷 红外光学材料 |
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