| 应力双折射对偏振相移干涉检测的影响 |
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| 作者姓名： | 宣斌 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(No.XXXXXXXX)项目和"XX"科技探索与验证条件建设项目专项计划资助() |
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| 摘 要： | 偏振相移干涉中标准镜头及其他元件的应力双折射会产生检测误差.利用琼斯矩阵对偏振相移原理进行误差分析,发现应力双折射会引起CCD上产生8个相干光干涉,检测误差与CCD像面上的测试光和参考光的振幅之比、检测腔的相位、应力双折射的大小和方向等因素有关.检测误差在每1根干涉条纹中会出现2次周期性变化,误差的峰谷值最大可以达到应力双折射的4倍.当应力双折射的方向具有一致性时可以减小检测误差,当方向完全一致时,检测误差完全消除.通过对一个Ø12英寸的材料进行分析发现,边缘处Ø4英寸材料的应力双折射中心处为18nm,产生的检测误差峰谷值为72nm;边缘处材料的应力双折射为22nm,方向具有更好的一致性,产生的检测误差峰谷值为24.9nm.
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| 关 键 词： | 光学检测 干涉测量 应力双折射 光学仪器 光学工程 |
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