| YBCO沟槽型台阶结和rf SQUID的制备及性能研究 |
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| 作者姓名： | 马平 谢飞翔 王守证 刘乐园 张凡 聂瑞娟 胡晓东 戴远东 王世光 甘子钊 |
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| 作者单位： | 北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871;北京大学物理学系,北京,100871 |
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| 摘 要： | 本工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ（ＹＢＣＯ）超导薄膜后,制备出台阶结和射频超导量子干涉器（ｒｆＳＱＵＩＤ）．液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到２．０×１０－４Φ０／Ｈｚ和２９４ｆＴ／Ｈｚ．涂有真空导热硅脂作保护层的器件,至今寿命已达１０个月,经历了３０次以上（个别器件达５０次）测试过程中从液氮到室温的冷热循环,性能没有明显的变化,表现出很好的稳定性．通过研究,解决了制备ｒｆＳＱＵＩＤ器件工艺过程中存在的一些问题,提高了制备器件的可重复性,得到高性能器件的成品率达到３０％～５０％．
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| 关 键 词： | 性能 SQUID 制备 YBCO 沟槽型 台阶结 超导体 |
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