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| HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究 | |
| 作者姓名： | 陈珂 杨涛 吴陪均 陈烈 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所、超导国家重点实验室,北京,100080;西北大学物理系、西北大学近代物理研究所,西安,710069 |
| 摘 要： | 本文用原子力显微镜（ＡＦＭ）对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量．结果表明：台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响．文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析,并讨论了台阶结制作工艺重复性差,成品率低的原因 |
| 关 键 词： | HTS 台阶边缘结 超导器件 离子束蚀刻 |
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