双波长绝对距离外差干涉仪的研究 |
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作者姓名: | 赵洋 周挺 李达成 |
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作者单位: | 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;Calimetrics Inc, 815 Atlantic Avenue Suite 105, Alameda, CA 94501-2274, U.S.A. |
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摘 要: | 提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号, 通过测量两信号的相位差, 直接测量出合成波的小数级次。指出了两波长间的相互耦合对测量精度的影响, 提出了补偿方法, 在25 m 的测量范围取得了 140 μm 的测量精度。
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关 键 词: | 外差干涉仪 绝对距离干涉术 相位测量 模耦合 |
收稿时间: | 1997-12-10 |
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