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双波长绝对距离外差干涉仪的研究
作者姓名:赵洋  周挺  李达成
作者单位:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;Calimetrics Inc, 815 Atlantic Avenue Suite 105, Alameda, CA 94501-2274, U.S.A.
摘    要:提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号, 通过测量两信号的相位差, 直接测量出合成波的小数级次。指出了两波长间的相互耦合对测量精度的影响, 提出了补偿方法, 在25 m 的测量范围取得了 140 μm 的测量精度。

关 键 词:外差干涉仪  绝对距离干涉术  相位测量  模耦合
收稿时间:1997-12-10
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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