| X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 |
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| 引用本文： | 王占山,马月英,吕俊霞,高宏刚,刘毅楠,裴舒,曹健林,徐向东,洪义麟,付绍军.X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究[J].光学学报,1999,19(7):93-996. |
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| 作者姓名： | 王占山 马月英 吕俊霞 高宏刚 刘毅楠 裴舒 曹健林 徐向东 洪义麟 付绍军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春,130022
2. 中国科技大学国家同步辐射实验室,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,863激光领域青年基金,应用光学国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上的形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形，通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上，完成元件的制作，给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果，测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲涅耳元件。
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| 关 键 词： | X射线布拉格-菲涅耳光学元件 多层膜 波带片 离子束刻蚀 |
| 收稿时间： | 1998/1/4 |
Experimental Investigation of X-Ray Bragg-Fresnel Optics |
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| Wang Zhanshan,Ma Yueying,Lu Junxia,Gao Honggang,Liu Yinan,Pei Shu,Cao Jianlin,Xu Xiangdong,Hong Yilin,Fu Shaojun.Experimental Investigation of X-Ray Bragg-Fresnel Optics[J].Acta Optica Sinica,1999,19(7):93-996. |
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| Authors: | Wang Zhanshan Ma Yueying Lu Junxia Gao Honggang Liu Yinan Pei Shu Cao Jianlin Xu Xiangdong Hong Yilin Fu Shaojun |
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| Abstract: | The multilayered X ray Bragg Fresnel optics is fabricated with the zone plate profile formed on
the phptoresist on a surface of multilayer mirror by optical holography and followed by ion
beam etching into the multilayer mirror. The meansured results of the fabricated Bragg Fresnel
optics are presented. The measured results show that the method is suitable for making Bragg
Fresnel optics. |
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| Keywords: | X ray Bragg Fresnel optics multilayer coating zone plate ion beam etching |
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