| 氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响 |
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| 引用本文： | 邢文娟,汪建华,王传新,皮华滨,余学超.氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响[J].人工晶体学报,2008,37(3):689-693. |
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| 作者姓名： | 邢文娟 汪建华 王传新 皮华滨 余学超 |
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| 作者单位： | 武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073 |
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| 基金项目： | 湖北省科技攻关项目
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湖北省教育厅创新团队项目 |
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| 摘 要： | 本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.
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| 关 键 词： | 氧等离子体 金刚石薄膜 硬质合金刀具 附着性能 |
Influence of the Cemented Carbide Surface by Oxygen Plasma Processing on Adhesion Capability of the Diamond Film |
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| XING Wen-juan,WANG Jian-hua,WANG Chuan-xin,PI Hua-bin,YU Xue-chao.Influence of the Cemented Carbide Surface by Oxygen Plasma Processing on Adhesion Capability of the Diamond Film[J].Journal of Synthetic Crystals,2008,37(3):689-693. |
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| Authors: | XING Wen-juan WANG Jian-hua WANG Chuan-xin PI Hua-bin YU Xue-chao |
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