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| 半导体材料的区域提纯及区域匀平法 | |
| 引用本文： | 趙香笙.半导体材料的区域提纯及区域匀平法[J].物理,1960(3). |
| 作者姓名： | 趙香笙 |
| 作者单位： | 北京大学半导体物理教研室 |
| 摘 要： | 半导体材料是制造半导体器件的先行,也是开展对半导体的科学研究所必不可少的。制备高纯度的結构完整的半导体材料在半导体学的发展史上起了特別重要的意义。我們知道,极微量的杂貭和缺陷对半导体材料导电性能有决定性的作用,它可以使半导体材料具有适合一定器件的要求的性质,也可使半导体变为毫无用处的废物。半导体材料要求的純度是极高的,对制备晶体管用的锗、硅材料来說,通常要在8个9(純度为 |
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