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PECVD制备的（Ti1—XAlx）N涂层的高温氧化性

引用本文：	蓉佳.PECVD制备的（Ti1—XAlx）N涂层的高温氧化性[J].等离子体应用技术快报,2000(7):18-19.

作者姓名：	蓉佳

摘要：
关键词：	PECVD 涂层高温氧化性（Ti1－xAlx）N
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