| 新型低损耗氧化硅Y分支光波导 |
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| 引用本文： | 陈抱雪,袁一方,矶守. 新型低损耗氧化硅Y分支光波导[J]. 光学学报, 2001, 21(5): 52-555 |
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| 作者姓名： | 陈抱雪 袁一方 矶守 |
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| 作者单位： | 上海理工大学光学和电子信息工程学院,;日本东京农工大学工学部应用化学系,东京 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的Y分支光波导结构。该Y分支波导由一个人射波导,一个过渡波导和一对出射波导组成。过渡波导用于改善放射基模与出射偶对称模之间的场分布匹配,有效地提高了功率耦合效率,降低了分支耦合损耗,波束传播法（BPM）数字模拟计算表明,该结构在1．31μm和1．55μm波长下可分别达到0．041dB和0．052dB分支耦合损耗。实验中用等离子化学汽相沉积（CVD）技术制备了SiO2分支波导样品,在上述两波长下分别测得分支耦合损耗为0．08dB和0．09dB,基本达到了设计指标。
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| 关 键 词： | 光波导 Y分支光波导 场分布匹配 分支耦合损耗 SiO2光波导 化学汽相沉积(CVD)技术 |
New Type Low-Loss SiO2 Y-Branch Waveguide |
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| Chen Baoxue ) Yuan Yifang ) Mamoru Iso ) ). New Type Low-Loss SiO2 Y-Branch Waveguide[J]. Acta Optica Sinica, 2001, 21(5): 52-555 |
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| Authors: | Chen Baoxue ) Yuan Yifang ) Mamoru Iso ) ) |
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| Affiliation: | Chen Baoxue 1) Yuan Yifang 1) Mamoru Iso 2) 1),Institute of Optics and Electron Information engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093 2),Department of Chemical Engineering,Tokyo University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | waveguide Y branch waveguide mode field matching branching loss SiO 2 waveguide chemical vapor deposition technology |
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