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| 大口径干涉仪装置的调整及支承机构 | |
| 作者姓名： | 汤更秀 刘志刚 王聪瑜 庞向阳 朱健强 |
| 作者单位： | 1.中科院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
| 基金项目： | 国家863-416高技术计划资助项目 |
| 摘 要： | 采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式,并从实验上验证了这些机构对光学精密检测系统稳定性的影响. |
| 关 键 词： | 大口径干涉仪 蜗轮蜗杆驱动 同步带安装标准镜片 正交十字导轨 调整准确度 |
| 收稿时间： | 2005-01-07 |
| 修稿时间： | 2005-01-07 |
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