| 软X射线多层膜色散元件 |
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| 引用本文： | 曹健林 马月英. 软X射线多层膜色散元件[J]. 光学学报, 1994, 14(11): 204-1209 |
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| 作者姓名： | 曹健林 马月英 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所，中国科学院长春应用光学国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,中国科学院长春分院青年基金 |
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| 摘 要： | 介绍研制软Ｘ射线多层膜色散元件的初步结果，结合Ｍ０／Ｓ１、Ｓ／Ｓ１色散元件的研制实例，讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程，这些元件将在Ｘ射线光学和Ｘ射线光谱学的有关研究工作中得到应用。
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| 关 键 词： | 软X射线 多层膜技术 色散元件 |
| 收稿时间： | 1993-10-08 |
Soft-X-Ray multilayered Dispersive Elements |
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| Cao Jianlin, Ma Yueying, Zhang Junping, Gao HonggangWang Zhanshan, Pei Shu, Chen Xingdan. Soft-X-Ray multilayered Dispersive Elements[J]. Acta Optica Sinica, 1994, 14(11): 204-1209 |
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| Authors: | Cao Jianlin Ma Yueying Zhang Junping Gao HonggangWang Zhanshan Pei Shu Chen Xingdan |
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| Abstract: | The preliminary results of making soft X-ray multilayered dispersive elementsare Presented. Based on the soft X-ray multilayered dispersive elements are of this groupthe fabrication procedure including the design, Performance simulation, coatingtechnique, and testing method is discussed through the preparation of Mo/Si and W/Simultilayer samples. These elements will be used in the researches of X-ray optics and Xray Spectroscopy. |
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| Keywords: | soft-ray multilayer technique dispersive element. |
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